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簡要描述:CMPro-P系列聚丙烯(PP)深層折疊濾芯是化學(xué)機(jī)械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)液大顆粒和膠體去除的理想選擇,尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。
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CMPro-P系列聚丙烯(PP)深層折疊濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。CMPro-P系列聚丙烯(PP)深層折疊濾芯是化學(xué)機(jī)械研磨(chemical mechanical polishing,CMP)液大顆粒和膠體去除的理想選擇,尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團(tuán)聚顆粒和膠體雜質(zhì)。此外,CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設(shè)計(jì)大幅度提高了過濾面積和納污容量,使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。
寬幅深層折疊使其具備超低的壓損和更長的使用壽命
較大的過濾面積,結(jié)合漸變的錐形孔結(jié)構(gòu),使剪切力最小化
漸變孔徑實(shí)現(xiàn)分級過濾,攔截大顆粒并放行有效研磨顆粒
在潔凈車間生產(chǎn)、測試和包裝,確保產(chǎn)品潔凈度
采用熱熔焊接技術(shù),確保無污染
材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
外殼/中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
密封圈 | EPDM | |
精 度 | 0.8μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm, 15.0μm | |
尺寸規(guī)格 | 外徑 | 69mm |
長度 | 10inch, 20inch | |
最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) |
最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) |
標(biāo)稱尺寸 | A | B | C |
10" | 263.0±2mm | 249.0±2mm | 239.5±2mm |
20" | 511.0±2mm | 497.0±2mm | 487.5±2mm |
CMPP | 精度 | 端蓋 | 直徑 | 長度 | 密封圈 | 潔凈度 | 包裝方式 |
008 (0.8μm) 010 (1.0μm) 015 (1.5μm) 030 (3.0μm) 050 (5.0μm) 100 (10μm) 150 (15μm) | N(222 平頭) F(雙開口密封墊) | S(直徑=69mm) | 10 (10") 20 (20") | P (EPDM) | E(Electronic) | D (干包裝) W (超純水預(yù)潤濕包裝) |