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簡(jiǎn)要描述:Wet-Fluoride系列Wet濕制程用全氟濾芯的濾芯采用了高流速的PTFE膜,專(zhuān)為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1,SC2,49HF,HNO3,EKC,NMP等液體過(guò)濾打造。
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Wet-Fluoride系列Wet濕制程用全氟濾芯為全氟結(jié)構(gòu)的濾芯。Wet-Fluoride系列Wet濕制程用全氟濾芯的濾芯采用了高流速的PTFE膜,專(zhuān)為半導(dǎo)體Wet應(yīng)用中的SC1,SC2,49HF,HNO3,EKC,NMP等液體過(guò)濾打造。
優(yōu)良的濾芯設(shè)計(jì),確保在使用時(shí)壓降低的同時(shí)兼具有較好的顆粒去除效果。全氟的材料保證了濾芯具有極低的溶出物或者其他可能對(duì)工藝造成污染的成分,同時(shí)在使用過(guò)程中提供了非常良好的過(guò)濾效果。
優(yōu)秀的流量和更長(zhǎng)使用壽命
優(yōu)秀的化學(xué)和溫度耐受性能
全氟結(jié)構(gòu)和極低的溶出性能
便捷的預(yù)濕選項(xiàng)
100%濾芯完整性檢測(cè)
材料 | 濾膜 | PTFE |
支撐層,外殼 | PFA | |
筒式密封圈 | TEV/FFKM | |
一體式外殼 | PFA | |
精度 | 10nm, 20nm, 30nm, 50nm, 0.1μm, 0.2μm | |
膜面積 | SX (φ68mm) | 1.2 m2/10" |
MX (φ81mm) | 1.8 m2/10" | |
MY (φ81mm) | 2.2 m2/10" | |
MZ (φ81mm) | 2.8 m2/10" | |
最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.5 MPa (72 psi) @ 25 ℃ (77 °F) |
0.2 MPa (29 psi) @ 100 ℃ (212 °F) | ||
最大反向壓差 | 0.35 MPa (50 psi) @ 25 ℃ (77 °F) | |
最高使用溫度 | 筒式 100 ℃ (212 °F) | |
一體式 180 ℃ (356 °F) | ||
包裝方式 | 干包裝;超純水預(yù)潤(rùn)濕包裝 |