簡要描述：CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯由復合結構的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過濾。其梯度設計使其能夠很好地應對化學機械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰(zhàn)。
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| 品牌 | Membrane Solutions/邁博瑞 | 供貨周期 | 現(xiàn)貨 |
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CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯由復合結構的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統(tǒng)（SDS）的過濾。其梯度設計使其能夠很好地應對化學機械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰(zhàn)。錐形孔結構使CMPro-M系列P-高通量(PP)熔噴深層濾芯在優(yōu)秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實現(xiàn)了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿足多種不同的CMP應用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線CMP等。
梯度過濾結構，確保濾芯的過濾效率
銳利的效率曲線，顯著提升尺寸過大顆粒的去除率，同時減少有效顆粒的去除
優(yōu)化使用壽命，降低成本
制造過程中不添加表面活性劑和粘結劑，減少析出
| 材 料 | 過濾層/支撐層 | 聚丙烯 |
| 中心桿/端蓋 | 聚丙烯 | |
| 密封圈 | EPDM | |
| 精度 | 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm | |
| 尺寸規(guī)格 | 外徑 | 64mm |
| 長度 | 10inch, 20inch | |
| 最大使用條件 | 最大正向壓差 | 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F) |
| 0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F) | ||
| 最大反向壓差 | 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F) | |
| 最高使用溫度 | 80 ?C (176 ?F) | |
產(chǎn)品分類
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